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    在凈化車間內防止微粒子的四項基本原則

    在電子元件制品的制造過程中,微粒子污染對成品率有重大影響,故應在過程中嚴格控制微粒子的數量,遵守“不攜入、不發生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。凈化車間內的浮游微粒子濃度,使用高性能的過濾器即可容易達到零水平,實際的生產現場由于作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染。

     

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    在凈化車間內不攜入微粒子的方法有:作業員進入凈化車間前,機臺、零件攜入前應進行清潔處理; 進入凈化車間者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進入凈化車間。機器及材料帶進凈化車間前,應盡可能在密封狀態下帶進凈化車間前室保養后用超純水擦拭,經風淋室吹淋后才進入凈化車間。凈化車間中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

    在控制最大污染源--人在凈化車間內的微粒子發塵量的同時,也應控制第二大污染源—制造機臺的發塵量。因物品在移動時,所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵,而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控制發塵量達到最小限度應采取以下對策:
    減少接觸剝離發塵的動作形態;
    采用磨耗發塵小的材質;
    采用發塵小的潤滑油;  
    機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。

    在最高等級的凈化車間中從天花板到地面,完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。同時,空氣的流向也必須要有精確的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻,因為在流通路徑中有障礙物的話,容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域,使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在凈化車間內,而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。

    控制氣流可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在凈化車間內會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態及接觸部品材料,并藉由除電裝置進行除電。

    在無法避免大量微粒子發生的機臺中,為了不讓凈化車間內產生微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下:由于導入同量的外氣是必要的,但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是絕對理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時,不僅僅是向凈化車間外排氣,而應采用將除去粒子后的空氣再回流到凈化車間內之對策。

     

     


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